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性能參數(shù)
大氣壓 | 70~106Kpa | 工作臺(tái)面中心振動(dòng)靜位移μm(rms) | 1.3 |
主過濾器類別 | ULPA | 人員保護(hù) | 4.1*100000 |
主過濾器效率 | 99.9995%@0.12μm | 下降氣流速度(m/s) | 0.32 |
流入氣流速度(m/s) | 0.58 | 外排風(fēng)量(m3/h) | 1320 |
電源參數(shù)
頻率 | 50±1Hz |
規(guī)格
工作室內(nèi)表面材質(zhì) | SUS304 | 重量(Kg) | 280 |
腳輪 | 有 | 柜內(nèi)插座配置(防濺插座個(gè)數(shù)) | 1個(gè) |
固定底腳 | 可調(diào)高度75mm,無裸露螺紋 |
功能參數(shù)
過濾器阻塞報(bào)警 | 有 | 過濾器破損報(bào)警 | 有 |
前窗玻璃防紫外線 | 有 |